帶有預(yù)進(jìn)氣冷卻裝置的真空泵

概述

真空專家： 帶有預(yù)進(jìn)氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)

為了實(shí)現(xiàn)預(yù)進(jìn)氣冷卻，殼體在進(jìn)氣側(cè)增加了一個(gè)插口（原有兩個(gè)，現(xiàn)為三個(gè)）。 滑油供應(yīng)由濺油潤(rùn)滑實(shí)現(xiàn)。 輸送室由密封裝置真空密封。 驅(qū)動(dòng)軸由帶有油欄的兩個(gè)徑向密封環(huán)密封。 流動(dòng)方向?yàn)榭v向，自上而下。 驅(qū)動(dòng)可以通過(guò)直接耦合也可以通過(guò)窄 V 型皮帶來(lái)實(shí)現(xiàn)（在限制壓力差之下）。

These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:

Chemical Process Technology

Evacuation of Hydrogen

Thin Film Foil and Glass Coating

Helium Leak Indication Units

Laser Technology

Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy

Micro-Electronics Manufacturing

Semiconductor Instrument Manufacturing

Solar Technology

應(yīng)用 AERZEN MHV 系列鼓風(fēng)機(jī)的特殊優(yōu)勢(shì)：

有 11 種結(jié)構(gòu)尺寸可選

在適用范圍內(nèi)，粗略真空可作為多級(jí)泵座的中間級(jí)，或者作為相對(duì)于大氣壓力的負(fù)壓級(jí)亦適用

壓力差可達(dá) 800 mbar

適用于較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內(nèi)的粗略真空范圍

適于持續(xù)運(yùn)行且不會(huì)造成過(guò)熱問(wèn)題

明顯降低壓縮排氣溫度

無(wú)需其他必要的閥門、控制器等

信息與文檔

技術(shù)參數(shù)

結(jié)構(gòu)形式：正排量風(fēng)機(jī)

體積流量：250 止于  61.000 m3/h

介質(zhì)：空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送：無(wú)油

FINAL VACUUM：最大表壓（單位：10mbar）

PRESSURE DIFFERENCE：最大表壓（單位：10 - 300mbar）

應(yīng)用

適用于應(yīng)用的天才。

帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì)，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)始終結(jié)合前級(jí)泵使用*。

此前級(jí)泵在大氣壓力條件下開(kāi)始運(yùn)行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)，然后泵送流程啟動(dòng)。 根據(jù)應(yīng)用的不同，可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機(jī)作為前級(jí)泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數(shù)集時(shí)，前級(jí)泵也可以在大氣壓力條件下運(yùn)行。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)

微電子工業(yè)

平面屏幕制造

激光技術(shù)

太陽(yáng)能技術(shù)

氦檢漏裝置

化學(xué)工藝技術(shù)

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機(jī)時(shí)，必須配備額外的前級(jí)泵（多級(jí)系統(tǒng)）。